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氦檢查(HELIUM LEAK CHECK)
? ? ? ?氦質譜測漏是靈敏和無破壞性的確認系統密封性，環境安全性和產品質量的測試方法。機械式的干泵可以對
VMB，氣瓶柜，盤面和氣體管道進行無污染的測試。在把系統交給客戶使用前，對于二次配的氣體管路進行氦測
漏，進一步的確保整個系統的密封性。測漏服務業可以含蓋對機臺的 CHAMBER 抽真空，噴氦，然后進行機臺內
部的檢測。
特氣管道氦檢漏測試驗收標準：
參考標準：GB 50646-2011 特種氣體系統工程技術規范
1.氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1x10-10mbar·1/s
2.特種氣體系統氦檢漏的泄露率應符合下列規定：
內向測漏法測定的泄露率不得大于1x10-9mbar·1/s
3.氦檢漏發現的泄漏點經修補后，應重新經過氣密性試驗，合格后再按規定進行氦檢漏；
4.所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離；
5.系統測試完畢，應充入高純氮氣或氬氣，并進行吹掃。

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