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水份分析測試(TRACE MOISTURE )

特氣管道水分測試驗收標準：
參考標準：GB 50646-2011 特種氣體系統工程技術規范
1.特種氣體系統水分測試時，氣體速度應低于設計流速的10%，且小于3m/s；
2.測試氣源的水分應小于1ppbv；
3.測試氣體水分增量應小于20ppbv；
4.測試結束后，應至少保持20min穩定在規定值以下為合格。
在氣體管路工程，尤其是氫氣管路等工程中，因為施工裝配等原因，管路之間的連接處會存在一些肉眼差距不到的漏孔，這在使用時會導致泄露以及安全事故。
尤其是在半導體、集成電路等微電子行業輸送超高純電子氣體的氣體管道工程中，如果發生泄漏，將對生產安全產生很大影響，因此泄測非常重煙
工藝上對于純度要求高的氣體都需做氨檢，甚至要求氣體管路的漏率在每秒10*e-10CC才可以送氣通常氣體的漏率要求在1.0*e-9 cc.atm/sec以上

以下是“德陽特氣管路水含量測試中心”信息發布人聯系方式：