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比較截面形貌及其元素分布可以發現加入 H 2 后， 截面中 Ti 的含量更高。Ti 膜厚度相同， 而截面 Ti 含量的減少歸因于 Ar 的轟擊作用。 Ar 和 N 的原子質量分別是 40 和 14。 在 Ar 濺射不銹鋼網， 也造成了 Fe、 Mn 等雜質元素在表面的污染加重。 因此， 輕元素對于提高表面質量更為理想。 此外采用 H 2后表面獲得了 Fe 的氮化物而以 Ar 氣氛則沒有獲得該類化合物， 這是因于H 2 具有很好的防止表面被氧化的作用， 這也能有效地減少爐內 不可避免的存在的 O 2 對于表面的污染。 而氫氣對于不銹鋼網的濺射作用則大大減弱， 這也能有效地減少 Fe 等合金元素在表面的沉積， 且氫原子或者離子轟擊試樣表面能夠起到活化表面的作用， 這能夠促進其他元素向基體的擴散。

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