碳化鉭設備
專業從事碳化硅氣相沉積、碳化鉭氣相沉積設備制造；工裝結構圖紙設計；CVD鍍膜工藝研發，涂層純度6N以上，涂層均勻性90%，工藝速率2-100um/h可選工藝；基材鍍膜碳化硅涂層，碳化鉭涂層代加工等。
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